Tantál célpontokáltalában tárcsák vagy téglalap alakú lemezek formájában készülnek, de különféle formájú és méretűek is elkészíthetők az alkalmazási követelményektől függően. Fő szerkezeti jellemzői a következők:
Nagy tisztaság: általában több mint 99,9%, néha akár 99,999%. A nagy tisztaság biztosítja, hogy a vékonyréteg-leválasztási folyamat során ne kerüljenek be nem kívánt szennyeződések.
Egyenletesség: A tantál céltárgyaknak egységes mikrostruktúrával kell rendelkezniük, hogy biztosítsák az egyenletes anyageloszlást a vékonyréteg-lerakódás során.
Nagy sűrűség: A sűrűség egyenletessége kritikus fontosságú a stabilitás biztosításához a lerakódás során.