Zhenan Tungsten Target termék PDF dokumentum, kattintson a Letöltéshez
Hogyan működnek a volfrámcélok a porlasztási folyamatban?
A porlasztás egy fizikai gőzlerakódás (PVD) technika, amelyben az ionizált gáz atomok felgyorsulnak a volfrám -cél felé. Amikor ezek az energikus ionok a volfrámcél felületét ütik el, a volfrám -atomokat kiürítik a célanyagból. Ezek a kidobott volfrámatomok ezután egy gázokkal töltött kamrán haladnak, és egy szubsztráton helyezkednek el, hogy vékony fóliát képezzenek. A volfrámcél magas olvadáspontja és jó hőstabilitása lehetővé teszi, hogy ellenálljon az energikus ionok bombázásának a porlasztási folyamat során. A volfrám alacsony gőznyomása biztosítja, hogy a porlasztási sebesség idővel stabil maradjon, ami következetes és egységes filmlerakódást eredményez.
Zhenan kiváló minőségű volfrámcél
Tiszta volfrám fém porlasztás céltermék paramétertábla
|
Alkalmazás |
Félvezetők, mikroelektronika stb. |
|
Atommennyiség |
9,53 cm3/mol |
|
Kristályszerkezet és rács állandó |
- W: BCC A=3. 16524 nm (25 fok) |
|
-W |
Kubikus rács a=5. 046 nm (stabil 630 fok alatt) |
|
Az olvadás látens hője |
40,13 ± 6,67KJ/mol |
|
Szublimációs hő |
847,8 kJ/mol (25 fok) |
|
Párolgási hő |
823,85 ± 20,9KJ/mol (forráspont) |
|
Ellenállási hőmérsékleti együttható |
0. 00482 I/ fok |
|
Rugalmassági modulus |
35000 ~ 38000 MPa (vezeték) |
|
Torziós modulus |
~ 36000mpa |
|
Összenyomhatóság |
2. 910-7 cm/kg |
If you have other product needs, please contact us, please leave a message to: sales@zanewmetal.com, we will reply to you as soon as possible~