A wolfram céltárgyakat számos területen széles körben használják, elsősorban a félvezetőgyártásban, a spallációs neutronforrás eszközökben, a fotolitográfiai eljárásokban, a vékonyréteg-leválasztási technológiában, a magfúziós eszközökben stb.
Alkalmazása a félvezetőgyártásban
A félvezetőgyártásban a wolfram céltárgyakat főként fotolitográfiai eljárásokban és vékonyréteg-leválasztási technológiában használják. A volfrám céltárgyak nagy sűrűsége, nagy keménysége és alacsony kémiai reakcióképessége lehetővé teszi számukra, hogy precíz maratási vezérlést biztosítsanak a plazmamarás során, csökkentsék a szükségtelen anyagveszteséget, és biztosítsák az áramköri minták finomságát és integritását. A vékonyréteg-leválasztási technológiában a wolfram céltárgyakat fizikai gőzfázisú leválasztással (PVD) és kémiai gőzleválasztással (CVD) alakítják sűrű filmekké. Ezek a fóliák nagy keménységgel és kopásállósággal rendelkeznek, ami javítja a félvezető eszközök mechanikai szilárdságát és tartósságát. Ugyanakkor nagy vezetőképességük és alacsony impedanciájuk javítja az áramvezetési hatékonyságot és csökkenti az energiafogyasztást.
Alkalmazás spallációs neutronforrásokban
A volfrámcélpontok kulcsszerepet játszanak a spallációs neutronforrás eszközökben is. A spallációs neutronforrások nehéz atommagok nagy energiájú protonokkal történő bombázásával állítanak elő neutronokat, amelyeket az anyag mikroszerkezetének és dinamikus tulajdonságainak tanulmányozására használnak. Magas olvadáspontja, magas hővezető képessége és alacsony porlasztási sebessége miatt a volfrám a magfúziós eszközök és spallációs neutronforrások kedvelt anyagává vált. A spallációs neutronforrások szélesebb neutronenergia-spektrumot biztosíthatnak, kiterjesztve a neutrontudományi kutatások körét, különösen az anyagtudományi kutatások terén. A wolfram céltárgyak alkalmazása lehetővé teszi a hidrogéntároló anyagok, az akkumulátor reakciótörvényeinek tanulmányozását, új anyagok fejlesztését.